Entwicklung von Mikrosystemtechniken auf der Basis von AlN-Keramiken Teilthemen: Wissenschaftliche Grundlagen für ein Dickschichtwiderstandspastensystem auf AlN-Keramik und Wissenschaftlich-technische Voraussetzungen für die Nutzung des Widerstandspastensystems auf AlN-Keramik ; Abschlußbericht für das Forschungsvorhaben FKZ 411-4013-13 MV 0073 A
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
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1993
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT 13 MV 0073 A |
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Beschreibung: | 84 Bl |