Electron devices based on ferroelectric hafnium oxide thin films

Electron devices based on ferroelectric hafnium oxide thin films

Habilitationsschrift, Technische Universität Dresden, 2022

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kämpfe, Thomas (VerfasserIn)
Körperschaft: Technische Universität Dresden (Grad-verleihende Institution)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Dresden TUDpress 2022
Schriftenreihe:Dresdner Beiträge zur Sensorik Band 85
Schlagworte:
Hochschulschrift > Mikroelektronik > Ferroelektrikum > Dünne Schicht > Hafniumdioxid
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:Habilitationsschrift, Technische Universität Dresden, 2022
Beschreibung:Enthält Zeitschriftenaufsätze
Beschreibung:x, 303 Seiten
Illustrationen, Diagramme
ISBN:9783959085526
978-3-95908-552-6