Alternative Absorbermaterialien für EUV-Masken der 3nm-Technologie des Verbundprojektes: TAPES3 - Technologien für die nächste Generation höchstintegrierter Mikroelektronik Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.10.2018-31.01.2022
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Jena
optiX fab GmbH
2022
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16ESE0290 Verbundnummer 01182862 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 44 Blätter, 2 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme |