Comparison of Optical and Contact Surface Topography Measurement, Including Uncertainty

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASPE Annual Meeting (35. : 2020 : Online) 35th ASPE Annual Meeting 2020
1. Verfasser:	Leach, R. K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Thompson, A. (VerfasserIn), Su, R. (VerfasserIn), Murakami, H. (VerfasserIn), Cui, X. (VerfasserIn), Senin, N. (VerfasserIn)
Pages:	35
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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