Entwicklung von Mikrosystemtechniken auf der Basis von AIN-Keramiken : TP: Charakterisierung und Testen von Metallisierungen und AIN-Keramiken und Entwicklung einer Dünnfilmmehrlagentechnik auf CU-Basis : Abschlußbericht ; [Abschlußdatum des Vorhabens: Dezember 93]

Entwicklung von Mikrosystemtechniken auf der Basis von AIN-Keramiken TP: Charakterisierung und Testen von Metallisierungen und AIN-Keramiken und Entwicklung einer Dünnfilmmehrlagentechnik auf CU-Basis : Abschlußbericht ; [Abschlußdatum des Vorhabens: Dezember 93]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Feil, M. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: München 1993
Schlagworte:
Forschungsbericht
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT 13AS01482
Beschreibung:180 S
Ill., graph. Darst