Erzeugung großflächiger Mikrostrukturen mittels Elektronenstrahlbelichtung
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, Kernforschungszentrum
1975 erschienen 1978
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| Schriftenreihe: | Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie Technologische Forschung und Entwicklung
T 78-18 : Elektronik |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT NT 372 Literaturverz. S. 54 - 59 Auf der Haupttitelseite: Juli 1975 |
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| Beschreibung: | 79 S Ill., graph. Darst |