Fabrication of Si Nano - Structures and Their Characteristics

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Shinkinō Soshi Gijutsu Shimpojiumu (14. : 1995 : Tokio) Extended abstracts of 14th Symposium on Future Electron Devices
1. Verfasser:	Hirai, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Morimoto, K. (VerfasserIn), Yuki, K. (VerfasserIn), Niwa, M. (VerfasserIn), Idota, K. (VerfasserIn), Morita, K. (VerfasserIn)
Pages:	14
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1995
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