Ellipsometrie für die Qualitätskontrolle an dünnen Schichten auf Si und SiGe Abschlußbericht zum Projekt: JESSI E 69 (B), Verbundprojekt FAW-IFC
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Frankfurt (Oder)
Inst. für Halbleitertechnik Frankfurt (Oder) GmbH
1995
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT 01 M 2918 A |
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| Beschreibung: | 96, 18 S |