Entwicklung eines Modells für die Schichtbildung von stark kohlenstoffhaltigen, siliziumorganischen Plasmapolymeren

Dissertation, Universität Bremen, 2022

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Brenner, Thorben (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Vissing, Klaus (AkademischeR BetreuerIn), Hartwig, Andreas (AkademischeR BetreuerIn), Kersten, Holger (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Bremen 2022
Schlagworte:	Plasmapolymer > HMDSO > Schichtbildung > Plasmaparameter > Plasmasonde > Hochschulschrift
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