Abscheidung dünner Isolationsschichten aus der Gasphase

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Siemens Aktiengesellschaft Unternehmensbereich Bauelemente Hauptbereich Grundlagenentwicklung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Behn, Reinhard (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Zentralstelle für Luft- und Raumfahrtdokumentation und -information der Deutschen Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt 1976
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie Technologische Forschung und Entwicklung T 76-66 : Elektronik
Schlagworte:
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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