IMECE2020-24258 A Study on the Tip-Based Nanomachining of Silicon Wafer Using Atomic Force Microscopy (AFM)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition (2020 : Online) Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition - 2020 ; Volume 2, A
1. Verfasser:	Okwuashi, Chionye (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ma, J. (VerfasserIn), Jahan, M. P. (VerfasserIn)
Pages:	2020
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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