The effect of DC-bias plasma oxygen on the surface chemistry of polystyrene thin film analysis by optical emission spectroscopy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Science and Applied Science (2020 : Surakarta; Online) International Conference on Science and Applied Science (ICSAS2020)
1. Verfasser:	Arinda, Putri S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hanif, Mahardika A. (VerfasserIn), Sandtjojo, D. J. Djoko H. (VerfasserIn), Sakti, Setyawan P. (VerfasserIn)
Pages:	2020
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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