A COMPARATIVE STUDY OF SIOxCyHz THIN FILMS DEPOSITED IN TRIMETHYSILYL ACETATE/O2/AR PLASMAS

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	NANOCON (11. : 2019 : Brünn) 11th International Conference on Nanomaterials - Research and Application (NANOCON 2019)
1. Verfasser:	KELAROVÁ, Stépánka (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	PRIBYL, Roman (VerfasserIn), HOMOLA, Vojtéch (VerfasserIn), ZÁBRANSKY, Lukás (VerfasserIn), STUPAVSKÁ, Monika (VerfasserIn), CERMÁK, Martin (VerfasserIn), BURSÍKOVÁ, Vilma (VerfasserIn)
Pages:	11
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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