A COMPARATIVE STUDY OF SIOxCyHz THIN FILMS DEPOSITED IN TRIMETHYSILYL ACETATE/O2/AR PLASMAS

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:NANOCON (11. : 2019 : Brünn) 11th International Conference on Nanomaterials - Research and Application (NANOCON 2019)
1. Verfasser: KELAROVÁ, Stépánka (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: PRIBYL, Roman (VerfasserIn), HOMOLA, Vojtéch (VerfasserIn), ZÁBRANSKY, Lukás (VerfasserIn), STUPAVSKÁ, Monika (VerfasserIn), CERMÁK, Martin (VerfasserIn), BURSÍKOVÁ, Vilma (VerfasserIn)
Pages:11
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2020
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
ISBN:9781713809999