DEVELOPMENT OF PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION REACTOR FOR PREPARATION OF OXYGEN CONTAINING ORGANOSILAZANE POLYMER THIN FILMS

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	NANOCON (11. : 2019 : Brünn) 11th International Conference on Nanomaterials - Research and Application (NANOCON 2019)
1. Verfasser:	PRIBYL, Roman (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	KELAROVÁ, Stépánka (VerfasserIn), HOMOLA, Vojtéch (VerfasserIn), BURSÍKOVÁ, Vilma (VerfasserIn)
Pages:	11
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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