(Invited) Border-Trap Characterization for Ge Gate Stacks with Thin GeOx layer Using Deep-Level Transient Spectroscopy
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) (9.) SiGe, Ge, and Related Compounds: Materials, Processing, and Devices 9 |
---|---|
1. Verfasser: | |
Weitere Verfasser: | , , |
Pages: | 9 |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
2020
|
Schlagworte: | |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
ISBN: | 9781713819370 |
---|