Epitaxial Ge-on-Nothing Virtual Substrates for 3D Device Stacking Technologies

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) (9.) SiGe, Ge, and Related Compounds: Materials, Processing, and Devices 9
1. Verfasser:	Loo, R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Porret, C. (VerfasserIn), Han, H. (VerfasserIn), Depauw, V. (VerfasserIn)
Pages:	9
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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