Effect of post annealed treatment on HfN thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Materials Research Society of Thailand (2. : 2019 : Pattaya) The second Materials Research Society of Thailand International Conference
1. Verfasser: Phae-ngam, W. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Prathumsit, J. (VerfasserIn), Gitgeatpong, G. (VerfasserIn), Chananonnawathorn, C. (VerfasserIn), Lertvanithphol, T. (VerfasserIn), Saekow, B. (VerfasserIn), Nakajima, H. (VerfasserIn), Horprathum, M. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2020
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Beschreibung
ISBN:9780735440098