Impedance measurements with voltage and current probes on RF driven ICP torch

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Topical Conference on Radiofrequency Power in Plasmas (23. : 2019 : Hefei) 23rd Topical Conference on Radiofrequency Power in Plasmas
1. Verfasser:	Zhou, Qiujiao (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Zhao, Peng (VerfasserIn), Geng, Chuanwen (VerfasserIn), Meng, Yuedong (VerfasserIn)
Pages:	23
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!