AN IMPROVED LOCOS TECHNOLOGY USING THIN OXIDE AND POLYSILICON BUFFER LAYERS

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (27. : 1984 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 27kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Hoshi, N. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	kayama, S. (VerfasserIn), Aoyama, J. (VerfasserIn), Shimada, T. (VerfasserIn)
Pages:	27
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1984
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Keine Beschreibung verfügbar.