XPS-XAES-Untersuchungen zur elektronischen und atomaren Struktur von amorphen Siliciumoxynitriden

Rostock, Univ., Diss. : 1994

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Heeg, Jan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1994
Ausgabe:	[Mikrofiche-Ausg.]
Schlagworte:	Hochschulschrift > Siliciumoxinitride > Amorpher Zustand > Röntgen-Photoelektronenspektroskopie > Auger-Spektroskopie
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Rostock, Univ., Diss. : 1994
Beschreibung:	Mikrofiche-Ausg.: 1994. 2 Mikrofiches
Beschreibung:	IV, 120 S graph. Darst