CHARACTERIZATION OF SILICON, SILICON NITRIDE AND SILICON OXIDE OBTAINED BY MERCURY-SENSITIZED PHOTO-CVD

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (22. : 1982 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 22kai Shinpojiumu kōen ronbunshū
1. Verfasser:	Ito, H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mizuguchi, K. (VerfasserIn), Abe, H. (VerfasserIn)
Pages:	22
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1982
Schlagworte:
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