A 1.1um CMOS PROCESSING BY C-SEPOX ISOLATION

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Veröffentlicht in:Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (23. : 1982 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 23kai Shinpojiumu
1. Verfasser: Matsukawa, N. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Nozawa, H. (VerfasserIn), Matsunaga, J. (VerfasserIn), Kohyama, S. (VerfasserIn)
Pages:23
Format: UnknownFormat
Sprache:jpn
Veröffentlicht: 1982
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