DEGRADATION IN QUALITY OF THIN SILICON DIOXIDE BY ION IMPLANTATION

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (28. : 1985 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 28kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Sugiura, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Susuki, T. (VerfasserIn), Shimazaki, A. (VerfasserIn), Shinozaki, S. (VerfasserIn)
Pages:	28
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1985
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Beschreibung
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