A NEW ISOPLANAR LOCOS TECHNOLOGY USING A THIN OXIDE BUFFER LAYER

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (28. : 1985 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 28kai Shinpojiumu
1. Verfasser: Kayama, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Aoyama, J. (VerfasserIn), Shimada, T. (VerfasserIn)
Pages:28
Format: UnknownFormat
Sprache:jpn
Veröffentlicht: 1985
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Keine Beschreibung verfügbar.