ADVANCED TECHNIQUES TO DECREASE DEFECT DENSITY AND IMPROVED Sb DOPING CHARACTERISTICS IN MOLECULAR BEAM EPITAXIAL SILICON FILMS

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (28. : 1985 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 28kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Aizaki, N. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tatusmi, T. (VerfasserIn)
Pages:	28
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1985
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