Characteristies of the NO Dielectric Film in the MTS (Micro-Trench Storage) Capacitor Structure

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (43. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 43kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Kim, S. T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kim, K. H. (VerfasserIn), Sun, Y. B. (VerfasserIn), Ahn, S. T. (VerfasserIn), Lee, M. Y. (VerfasserIn), Lee, J. G. (VerfasserIn)
Pages:	43
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1992
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