High Density Plasma for High Aspect Ration Oxide Etching

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (43. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 43kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Marks, J. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Collins, K. (VerfasserIn), Yang, Chan-Lon (VerfasserIn), Groechel, D. (VerfasserIn), Keswick, P. (VerfasserIn), Cunningham, C. (VerfasserIn)
Pages:	43
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1992
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