Investigation of Time-Dependent Four-Point-Probe (4PP) Resistivity on N-Type Silicon Epitaxial Wafers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (45. : 1993 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 45kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Mitani, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Saisu, S. (VerfasserIn), Katayama, M. (VerfasserIn)
Pages:	45
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1993
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!