Evaluation of Near-surface Micro-defects after a Thermal Simulation in CZ-Si Wafers by an Infrared Laser Scattering Method

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (45. : 1993 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 45kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Hoshi, R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kitagawara, Y. (VerfasserIn), Oka, S. (VerfasserIn), Takenaka, T. (VerfasserIn)
Pages:	45
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1993
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