Thermal Behavior of Three Type of Precipitates in as-grown CZ Silicon Crystals

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (45. : 1993 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 45kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Kashima, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Shimoi, N. (VerfasserIn), Kurihara, S. (VerfasserIn)
Pages:	45
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1993
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Beschreibung
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