High Performance SiOxHy : H Anti-reflective-layer for Sub-0.3 4m Device Pattern Fabrication

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (45. : 1993 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 45kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Nakano, H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gocho, T. (VerfasserIn), Yabuta, M. (VerfasserIn), Ogawa, T. (VerfasserIn), Tsumori, T. (VerfasserIn)
Pages:	45
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1993
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