Characteristics of Photo-CVD TaOx/SiNx Double-Layer Gate TFT and the Effect of. Residual Stress

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (37. : 1989 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 37kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Nagayoshi, H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Matsui, M. (VerfasserIn), Kamisako, K. (VerfasserIn), Kuroiwa, K. (VerfasserIn), Tarui, Y. (VerfasserIn)
Pages:	37
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1989
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