Negative Resist for i-line Lithography Utilizing Acid Catalyzed Silanol-Condensation Reaction

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (37. : 1989 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 37kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Tadano, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tanaka, T. (VerfasserIn), Ueno, T. (VerfasserIn), Shiraishi, H. (VerfasserIn), Hayashi, N. (VerfasserIn), Iwayanagi, T. (VerfasserIn)
Pages:	37
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1989
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