Crystallization of Amorphous Silicon Films with Clean Surfaces

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (40. : 1991 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 40kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Sakai, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tatsumi, T. (VerfasserIn), Niino, T. (VerfasserIn), Ono, H. (VerfasserIn), Ishida, K. (VerfasserIn)
Pages:	40
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1991
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