Low-Temperature Epitaxial Growth of Silicon by Thermal Chemical Vapor Deposition

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (34. : 1988 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 34kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Higashitani, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Miyatake, H. (VerfasserIn), Nagao, S. (VerfasserIn), Tsubouchi, N. (VerfasserIn)
Pages:	34
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1987
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