Investigation of Dopant Segregation in Polycrystalline Silicon with SIMS and XTEM

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (36. : 1989 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 36kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Itoh, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Aikawa, I. (VerfasserIn), Kinoshita, M. (VerfasserIn), Aljoka, T. (VerfasserIn)
Pages:	36
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1989
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