Effect of Microgroove Structures on the Fluid Dynamics and Film Conformality in Spatial Atomic Layer Deposition of Al2O3

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) Semiconductors, Dielectrics, and Metals for Nanoelectronics and Plasma Nanosciences
1. Verfasser:	Li, Z. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Li, X. (VerfasserIn), Cao, K. (VerfasserIn), Chen, R. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
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