Near-Room-Temperature Soft Plasma Pulsed Deposition of SiCxNy from 1,3,5- tri(isopropyl)cyclotrisilazane

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) Semiconductors, Dielectrics, and Metals for Nanoelectronics and Plasma Nanosciences
1. Verfasser:	Brick, J. Goff. C. M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kaloyeros, A. (VerfasserIn), Arkles, B. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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