Highly Oriented Growth of Al;Sci.x N Ferroelectric Film on W Bottom Electrodes

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) Semiconductors, Dielectrics, and Metals for Nanoelectronics and Plasma Nanosciences
1. Verfasser:	Tsai, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hoshii, T. (VerfasserIn), Wakabayashi, H. (VerfasserIn), Tsutsui, K. (VerfasserIn), Kakushima, K. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!