IMPROVEMFNT OF THE ELECTRON BEAM SENSITIVITY OF AN AZIDE/PHENOLIC RESIN – BASED NEGATIVE RESIST BY CHEMICAL AMPLIFICATION

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (35. : 1988 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 35kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Aoki, E. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Shiraishi, H. (VerfasserIn), Hashimoto, M. (VerfasserIn), Hayashi, N. (VerfasserIn)
Pages:	35
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1988
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