Projected ion range data for silicon planar technology
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Harwell, Berkshire
Electronics and Applied Physics Division, Atomic Energy Research Establishment
1971
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| Schriftenreihe: | AERE-R
6660 United Kingdom Atomic Energy Authority Research Group report |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Literaturverzeichnis: Seite 5 |
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| Beschreibung: | circa 250 Seiten Illustrationen |