ISFA2020-9635 Fractional-Order Variable-Gain Super-Twisting Control With Application to Wafer Stages of Photolithography Systems

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASME International Symposium on Flexible Automation (2020 : Online) Proceedings of the ASME International Symposium on Flexible Automation - 2020
1. Verfasser:	Kuang, Zhian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sun, Liting (VerfasserIn), Gao, Huijun (VerfasserIn), Tomizuka, Masayoshi (VerfasserIn)
Pages:	2020
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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