Impact of Chemical Effects on Topography and Thickness of Modified GaN Surface Layers Bombarded by F and Ne Ions

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies (2020 : Sankt Petersburg) International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies
1. Verfasser:	Struchkov, Andrei I. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Karabeshkin, Konstantin V. (VerfasserIn), Arkhipov, Alexander V. (VerfasserIn), Filatov, Viktor A. (VerfasserIn), Karaseov, Platon A. (VerfasserIn), Azarov, Alexander Yu. (VerfasserIn), Titov, Andrei I. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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