Nanointegration als Schlüsseltechnologie für einen MEMS basierten IR-Emitter für spektroskopische Sensorsysteme (Kurztitel: "NaMIS"); Teilvorhaben: Aufbau- und Schichttechnologie für IR-Emitter mit Einsatztemperaturen von bis zu 800 ̊C Abschlussbericht : BMBF-Programm "KMU innovativ: nanotechnologie" (NanoChance) : Laufzeit des Vorhabens: 01.05.2016 bis 30.04.2019
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| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Hermsdorf
Siegert TFT GmbH
16.10.2019
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13XP5019D Verbundnummer 01169511 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 15 Blätter Illustrationen, Diagramme |