Site-specific Low Angle Plasma FIB Milling for Cross-sectional Electrical Characterization

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Symposium for Testing and Failure Analysis (45. : 2019 : Portland, Or.) ISTFA 2019
1. Verfasser:	Zhang, Chuan (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Li, Jane Y. (VerfasserIn), Aguada, John (VerfasserIn), Marks, Howard (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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