Application of Two-pin EBIC Technique to Isolate the Defective Fin(s) in Advanced Bulk FinFET Devices

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Symposium for Testing and Failure Analysis (45. : 2019 : Portland, Or.) ISTFA 2019
1. Verfasser:	Cheong, Kah Chin (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chen, Liangshan (VerfasserIn), Wei, Yuting (VerfasserIn), Zhang, Yu (VerfasserIn), Popielarski, Brian (VerfasserIn), Zhang, Xiaodong (VerfasserIn), Oh, Chongkhiam (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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