Capacitance Characterization of Gate to LDD Overlap Region to Understand Subtle Fail Modes in Advanced Node Technologies

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Symposium for Testing and Failure Analysis (45. : 2019 : Portland, Or.) ISTFA 2019
1. Verfasser:	Kodali, Satish (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Banghart, Edmund (VerfasserIn), Davidson, Kevin (VerfasserIn), Zhang, Yu (VerfasserIn), Singh, Jagar (VerfasserIn), Oh, Chong Khiam (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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