Analysis of Pressure Sensitivity of a Tuning-Fork-Type Quartz Vacuum Gauge

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Symposium on Ultrasonic Electronics (10 : 1989 : Tokio) Proceedings of the 10th Symposium on Ultrasonic Electronics
1. Verfasser:	ITO, Hideaki (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	NAKAZAWA, Mitsuo (VerfasserIn), GOTO, Susumu (VerfasserIn), TAKAHASHI, Yo (VerfasserIn)
Pages:	10
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1990
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Beschreibung
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