Characterization of Ion Implanted Layer Using Ion-Induced Acoustic Signal

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Symposium on Ultrasonic Electronics (10 : 1989 : Tokio) Proceedings of the 10th Symposium on Ultrasonic Electronics
1. Verfasser:	Ocıso, Hisato (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	NAKANO, Shizuka (VerfasserIn), NAGATA, Yoshihiko (VerfasserIn), YAMANAKA, Kazushi (VerfasserIn), KODA, Toshio (VerfasserIn)
Pages:	10
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1990
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Beschreibung
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